表面洁净度测试仪
一、仪器介绍
概述：
表面洁净度测试仪采接触式，量测物体表面的粒子数量的设备。半导体，面板厂，设备商与有清洁部件厂商，验证部件表面是否干净的检验标准工具，人的肉眼很难看清直径在100微米以下的粒子，这些粒子会快速沉降，逃避常规的空气检测从而聚集在关键表面或产品上，从而减少产品的良率及降低产品的稳定性。
执行标准：
ISO14644-9:2022《洁净室和相关的受控环境第 9 部分:颗粒浓度表面清洁度的评估》
二、仪器参数
技术参数：
控制系统：PLC
操作界面：7寸触摸屏
流量:28.3L/min+5% 内置流量传感器，流量自动闭环控制
光源: 进口激光二极管
测试粒径:0.1、0.15、0.2、0.25、0.3、0.5、0.7、1.0、3.0、5.0um可根据客户需求定制，多八个通道
饱和浓度:2000000/ft35%
自净时间:≤10min
测量次数:0-99次周期:0-99999秒测量间:0-9999秒时时间:0-9999秒
洁净度等级:1~9级
采样头规格:φ36.5
数据单位:m3、ft3
SCP等级:1级-8级
表面类型:圆形、方形
表面探头:φ12.7 mm、φ20 mm、φ30 mm、φ50 mm、φ70 mm
数据单位:m2、ft2、in2、cm2、mm2
根据探头的形状如:圆形输入直径、方形输入长宽尺寸，自动计算出表面积。
打印功能:热敏打印机
数据储存:可储存100000组数据
重量:15kg
外形尺寸:300*400*450mm
电源：AC220V 50Hz 150W 可选带锂电池组
基本配置
主机 一台
说明书 1份
合格证1份
签收单1份
电源线1份
扳手1套
保修卡 一个
铭牌 一个
